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七星電子28納米氧化爐再獲集成電路生產線訂單

  2019年07月23日,七星電子新一批12吋立式氧化爐順利搬入中芯國際北京28納米生產線。這是繼2015年七星電子12吋立式氧化爐實現銷售以來,再次進入國內先進工藝集成電路生產線。
  氧化爐是集成電路製造關鍵工藝裝備之一。近年來,在國家科技重大專項(02專項)支持下,七星電子開展了12吋立式氧化爐的開發,通過持續投入與創新,研製出完全自主知識產權的12吋立式氧化爐設備,先後通過大生產線90/65/45/28納米生產工藝驗證,產品關鍵工藝指標、可靠性、安全性均滿足用戶生產工藝要求,產品陸續進入中芯國際、上海華力、武漢新芯等集成電路生產線。
  七星電子是我國集成電路工藝裝備的重點骨幹企業,有50年的擴散/氧化設備研製曆史。此次12吋立式氧化爐進入28納米生產線,標誌著七星電子在熱成膜裝備技術上達到國際先進水平,具備了為國內集成電路生產線進行配套的能力。

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