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北方微電子Al Pad PVD設備再次進入武漢新芯產線

  日前,北方微電子再傳捷報,公司自主研發的用於集成電路Al Pad工藝的eVictorA830 PVD設備再次成功move in武漢新芯,同時,該設備也獲得了多家國際大廠的後續訂單。
  eVictor A830 PVD設備是一款應用於IC領域的雙傳輸平台12英寸物理氣相沉積設備,支持8腔室配置,可以實現Al導電層、Ti(N)/Ta(N)阻擋層、TiN抗反射層等多種薄膜的製備,是NMC史上體型最龐大,腔室最多的係統。它突破了高溫靜電卡盤、厚鋁連續沉積、低刻蝕速率預清洗工藝、雙傳輸腔係統調度等關鍵技術,順利通過了MSTR驗證,技術水平處於市場領先地位,具有工藝溫度均勻性好、穩定性高、產能大等特點,此外,高Throughput、低CoO和CoC等特點給客戶工藝集成提供了廣闊的優化空間。
  Al Pad PVD順利贏得武漢新芯的二次訂單,再次move in 武漢新芯,是客戶對其技術能力及量產穩定性的肯定,也是對北方微電子技術實力的信賴以及對國產設備的認可。北方微電子將繼續秉承以客戶為導向的持續創新,以“創造精良,打造民族自尊”為使命,為集成電路裝備的國產化貢獻力量。

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