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北方微電子發布ELEDE 380E大產能高性能PSS刻蝕

  北方微電子公司近期發布了應用於LED領域圖形化襯底(PSS)製程的新型大產能高性能ICP刻蝕設備ELEDE380E,該設備基於成熟的ELEDE380平台構架,通過采用最新的高解離率高密度等離子技術,大幅提升了工藝性能,能更好地滿足LED PSS製程的發展需求。
  近年來,LED通用照明應用得到了快速發展,目前已經成為LED產品最大的市場需求,未來的市場潛力巨大。北方微電子作為國內LED領域高端設備及工藝解決方案提供商,從2010年就開始深入技術研發,先後推出四代ELEDE係列LED PSS刻蝕機,不斷順應PSS製程技術的發展,贏得了良好的市場口碑。ELEDE 380E作為北方微電子推出的新一代PSS刻蝕機,應用了北方微電子最新開發成功的超高選擇比技術(Ultra High Selectivity,UHS),工藝性能大幅提升,具備以下三項優勢:
  一、刻蝕選擇比高,PSS圖形刻蝕高度高形貌好。隨著AlN技術的引入,目前主流PSS襯底的尺寸逐漸在向1.8*2.8um的大尺寸規格發展,ELEDE 380E設備不僅能實現1.8*2.8um的尺寸規格,而且還能保證出色的圖形形貌和一致,完美匹配大尺寸PSS規格的需求。
  二、降低對光膠厚度要求,提升黃光產能和良率。ELEDE 380E設備具備高選擇比的優勢,使用比現有PSS刻蝕機更低厚度的光膠就可以實現相同的PSS尺寸規格,低厚度光膠不僅能縮短光刻機曝光時間提升黃光產能,而且也有助於提升黃光良率。
  三、更大的載片容量和更短的維護時間。ELEDE 380E設備標配8片4寸托盤,單盤產能比現有設備提升14%,而且ELEDE 380E設備實現了維護部件全部快速拆卸更換的功能,顯著縮短了設備的維護時間,設備產能明顯提升。
  ELEDE380E具備的這三項優勢,顯著提升性能和增大產能,能有效降低客戶的生產成本,為麵臨成本壓力的PSS襯底製造領域提供了完美的解決方案。

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