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北方微電子NMC14納米等離子矽刻蝕機進入ICRD

  近日,由北方微電子自主研發的國內首台12英寸14納米FinFET等離子矽刻蝕機正式進入上海集成電路研發中心(“ICRD”),與客戶共同開展研發工作,標誌著中國集成電路裝備技術取得了新的突破,也預示著中國集成電路產業即將邁入全新的技術時代。
  14納米集成電路製造技術是目前世界最先進的半導體工藝製造技術。作為中國自主開發集成電路高端製造裝備的先行者,北方微電子NMC 612D 14nm FinFET刻蝕機以全新的設計理念來實現14nm FinFET刻蝕工藝的要求。設備采用了新技術,提高了產品應用水平,設備多項關鍵指標達到國際先進水平。
  此舉是北方微電子通過技術創新取得又一重要成績。憑借機台優異的性能和28nm的成功經驗,期待NMC 612D14納米等離子矽刻蝕機創造更多的優異成績。北方微電子願通過持續的技術創新,與產業協同發展,共同迎來14納米技術時代!

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