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北方華創12英寸清洗機累計流片量突破50萬片大關

201612月,北方華創微電子裝備有限公司自主研發的Saqua係列12吋清洗機,在中芯國際完成52萬片生產線流片,設備的工藝性能及可靠性獲得用戶肯定。

作為公司集成電路裝備產品體係的重要一員,Saqua係列清洗機產品,是北方華創自主研發、具有完全自主知識產權的新一代高端清洗工藝設備,應用於IC製造中銅互連清洗工藝。設備采用全新的模塊化設計理念,通過了65納米/55納米/40納米大生產工藝驗證,各類指標優異。

長久以來,工藝水平和可靠性是困擾國產集成電路裝備走向規模應用的兩大難題。本次北方華創Saqua係列清洗機成功實現大規模流片,標誌著公司設備在具備了生產工藝能力的基礎上,通過了嚴酷的大生產線驗證,在生產效率、穩定性、可靠性等方麵達到了與進口設備相媲美的技術水平。

作為中國自主研發高端半導體製造工藝裝備的先行者,北方華創秉承“精良品質、卓越服務”的經營理念,始終致力於為客戶提供先進的工藝設備成套解決方案。未來,公司將持續創新,不斷提升產品品質和服務質量,打造民族品牌,助力國產集成電路製造裝備的新跨越。

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