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珠聯璧合 星光熠熠——北京北方華創微電子裝備有限公司

北京北方華創微電子裝備有限公司的主營業務是由原七星電子的半導體裝備相關業務與原北方微電子的全部業務整合而成。

七星電子成立於2001年9月,於2010年3月在深圳證券交易所上市,是國內唯一集成電路裝備上市公司,其清洗機、氧化爐、LPCVD(低氣壓化學氣相沉積)、ALD(原子層沉積)和氣體質量流量控製器(MFC)等多個項目獲得了政府科研項目資助。目前,多種高端集成電路關鍵設備批量進入大生產線,取得了良好的使用效果。同時,七星電子作為國內電力電子芯片裝備、光伏電池裝備、平板顯示裝備的主要供應商,與國內外行業龍頭客戶形成了長期友好的合作關係。

北方微電子成立於2001年10月,是北京電控聯合七星集團、清華大學、北京大學、中科院微電子所和中科院光電技術研究所共同出資,由國內半導體高端管理技術人才和海外專家為核心團隊創建的專注於高端集成電路裝備業務的高技術公司。公司以生產銷售高端集成電路裝備為主業,重點發展刻蝕設備(Etch)、物理氣相沉積設備(PVD)和化學氣相沉積設備(CVD)三大類設備,廣泛應用於集成電路製造、先進封裝、半導體照明(LED)、微機電係統(MEMS)等領域。北方微電子自成立以來通過十餘年的努力耕耘,已經發展成為中國大陸具有極強競爭力的高端微電子工藝裝備製造企業,具有深厚的市場基礎和良好的客戶口碑。

重組後的北方華創微電子是目前國內唯一以集成電路高端工藝裝備為主營業務的上市公司,擁有中組部千人計劃專家10人。產品涵蓋:等離子刻蝕(Etch)、物理氣相沉積(PVD)、化學氣相沉積(CVD)、氧化/擴散、清洗、退火等半導體工藝裝備;平板顯示製造裝備和氣體質量流量控製器等核心零部件。涉及集成電路、先進封裝、LED、MEMS、電力電子、平板顯示、光伏電池等半導體相關領域,產品行銷全國各地及東南亞、歐美,是國內覆蓋領域最廣、產品種類最多、建設規模最大、綜合實力最強的半導體裝備旗艦平台。

在集成電路領域,由公司自主研發的14nm等離子矽刻蝕機、單片退火係統、LPCVD已成功進入集成電路主流代工廠;28nm Hardmask PVD、Al-Pad PVD設備已率先進入國際供應鏈體係;12英寸清洗機累計流片量已突破60萬片大關;深矽刻蝕設備也於去年一舉告捷東南亞市場。這些豐碩的市場成果,標誌著中國裝備企業已經實現了集成電路裝備製造技術的裏程碑式跨越。

在先進封裝領域,北方華創微電子開發的刻蝕機和PVD設備已在全球主要先進封裝企業中得到了廣泛應用。先進封裝PVD機台性能優異,在全球排名前三的CIS封裝企業中穩居鼇頭;所開發的TSV刻蝕設備在大陸地區最近幾年的新增市場中亦實現了較高的市場占有率;同時應用於Bumping製程的Descum設備於2016年一經推出便收獲了市場的積極關注。

在LED領域,ELEDE係列刻蝕機自2010年麵市以來銷售量已經超過兩百餘台,其中氮化镓刻蝕機在2014~2016連續三年新增市場占有率達到80%以上,出貨量全球第一;PSS刻蝕機一直是全球主流PSS廠家的首選機台,目前為止國內規模最大的中圖半導體公司已累計采購該機型近百台,對市場起到了有力的表率作用;自主開發的AlN緩衝層濺射設備,更是引領了全球LED行業技術發展趨勢,在2016年實現 AlN Sputter的全球市場占有率第一,不僅在市場上取得了巨大成功,更是在技術上一舉打破了多年來本土設備商隻能處於追隨狀態的堅冰局麵!而同樣麵向LED芯片製造的EPEE550係列PECVD自推向市場以來,一直保持著新增市場占有率80%以上的市場業績,穩居市場首席。

麵向目前高速增長的MEMS及新興市場,北方華創微電子的深矽刻蝕設備,已批量銷往多家科研機構及生產線,服務於微納製造、光通信、化合物半導體、功率器件等多個新興領域;應用於薄膜/厚膜矽外延的APCVD係統在2016年更是一舉獲得了矽外延市場頭籌,斬獲了客戶大批采購訂單。

在光伏製造領域,公司研發了國內首台應用於高效光伏電池生產的負壓擴散爐,打破了國際技術壟斷,獲得了市場認可,目前已穩穩拔得市場頭籌;研發的晶矽電池線的大部分關鍵生產設備如在線濕法刻蝕機、槽式單晶製絨機、臥式擴散爐、PECVD等設備均已實現了進口替代。

在平板顯示領域,北方華創微電子公司是國內TFT-LCD生產線的骨幹設備供應商,多種產品在客戶G5至G10.5各個世代TFT-LCD生產線及OLED生產線上批量應用;CELL段的ODF工藝紫外固化爐UV Cure以及Cutting工藝的Grind Cleaner等設備均在各世代生產線占據重要份額。

此外,北方華創微電子公司在氣體流量測量和控製方麵亦擁有多項關鍵技術優勢,氣體質量流量控製器(MFC)產品行銷歐美,在國內市場中始終占第一品牌的行業地位。

在為半導體領域客戶打造的產品藍圖中,新技術、新產品、新工藝代代更迭、生生不息。正如“北方華創”品牌的英文名稱——“NAURA”所寓意的,“北方華創”的明星產品如浩瀚星辰般在半導體宇宙中璀璨閃耀。

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