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電控兩項科研成果榮獲2016年度北京市科學技術獎

在日前召開的北京市科學技術獎勵大會暨2017年全國科技創新中心建設工作會議上,180項科研成果榮獲2016年度北京市科學技術獎。電控所屬北方華創科技集團股份有限公司的兩項成果榜上有名,分別是:“22納米集成電路核心工藝技術及應用”獲得一等獎:“12英寸28nm金屬硬掩膜物理氣相沉積設備研發及產業化”獲得三等獎,為發展首都科技事業、促進首都經濟社會發展做出了積極貢獻。

“22納米集成電路核心工藝技術及應用”項目是北方華創與中科院微電子所等單位共同完成的。該成果在國家科技重大專項支持下開展技術攻關,突破了國外先進半導體公司在相關領域的技術限製,研發了創新的工藝和技術,建立了具有專利知識產權的專利體係,有力提升了國內集成電路製造及裝備企業高端裝備的技術產品水平。由北方華創等單位共同開發的高端國產工藝裝備,在武漢新芯、中芯國際等國產集成電路製造企業開展了核心技術的驗證及推廣應用,取得了數百項專利授權(包括美國專利授權)。

“12英寸28nm金屬硬掩膜物理氣相沉積設備研發及產業化”項目是北方華創自主創新的研發成果,是通過高通認證的工藝基線機台,是中芯國際該工序唯一機台,該成果具備完全知識產權。該設備采取了先進的設計,有效滿足了相關技術要求、提高了技術性能;通過自主研發的軟件控製係統,實現了工藝和傳輸全自動化控製;通過獨特的工藝整合和調控技術,提升了設備綜合性能。該項目降低了跨技術代產品開發難度,促進了產業化進程,實現了我國高端集成電路PVD設備零的突破和技術跨越,打破了國外的相關技術壟斷,已實現銷售7台,量產25萬片,並成功進入了國際主流客戶,有效支撐了中國集成電路產業的發展。

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