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北方華創PVD設備客戶端快速裝機

日前,北方華創微電子氮化鈦硬掩膜(HardMaskTiN PVD)設備在國內領軍集成電路芯片製造企業生產線上完成14天快速裝機。

2017年以來,中國集成電路產業持續高速增長,製造產能嚴重不足的問題越來越嚴重的困擾著領軍集成電路代工廠。北方華創深諳客戶需求,以關鍵設備HardMask TiN PVD的14天快速安裝,給客戶爭取寶貴生產調試時間。設備安裝期間,客服中心協調資源,安排工程師24小時不間斷工作,突破了國際廠商同類設備22天的平均裝機時間,創造了該設備最快速裝機的世界紀錄。為此,客戶特別授予北方華創HardMask TiN 客戶團隊傑出貢獻獎。這是客戶對北方華創產品和服務的充分肯定,也是北方華創以客戶為中心價值理念的踐行成果。

exiTin H430 氮化鈦硬掩膜PVD係統,是北方華創自主開發的麵向28-14nm大馬士革工藝中硬掩膜層沉積工藝所使用的物理氣相沉積設備。設備憑借其優異的工藝性能、量產能力和極具競爭力的CoO,被大陸領軍集成電路芯片製造企業指定為28nm製程Baseline機台,並榮獲北京市科學技術三等獎、第十屆中國半導體創新產品和技術項目獎等多項榮譽。目前該產品已進入國際供應鏈體係,推動了國產高端裝備的市場化進程。

PVD設備客戶端14天快速裝機,體現的是北方華創堅持客戶利益至上,以為客戶創造價值為己任的服務理念;14天快速裝機,展示的是北方華創客服工程師兢兢業業,不辭辛苦,高效過硬的技術實力;14天快速裝機,呈現的是北方華創客服團隊與客戶心心相係,密切配合,共迎挑戰的協作精神。

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