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北方華創為中國IGBT生產商提供關鍵工藝設備解決方案

北方華創微電子於9月22日參加了在株洲市召開的中國IGBT技術創新與產業聯盟第三屆學術論壇。本屆學術論壇由工業和信息化部電子信息司、湖南省經濟和信息化委員會、株洲市人民政府、中國IGBT技術創新與產業聯盟主辦,株洲市經濟和信息化委員會、中車株洲電力機車研究所有限公司、株洲中車時代電氣股份有限公司、新型功率半導體器件國家重點實驗室聯合承辦,吸引了來自世界各地的500餘名業界人士參會交流。北方華創微電子公司副總裁丁培軍博士在學術論壇上作了題為《IGBT芯片關鍵製程中的解決方案》的報告,詳細介紹了IGBT芯片製造工藝給設備帶來的挑戰,與業界同仁共同探討了IGBT市場前景與技術發展趨勢。

北方華創微電子憑借多年來在半導體裝備領域的經驗積累,可為IGBT芯片製造提供溝槽型幹法刻蝕工藝、PVD高溫鋁工藝、薄片工藝以及清洗機、PECVD、高溫氧化爐、LPCVD等多種關鍵製程設備。

伴隨著高速鐵路、智能電網、新能源汽車等新興產業的發展,市場對高端IGBT芯片的需求不斷增加。北方華創微電子將竭力助推IGBT產業的成長,為中國IGBT生產商提供專業的工藝設備解決方案。

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