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北方華創ALD集成電路關鍵設備交付客戶

12月5日,由北方華創下屬子公司北方華創微電子自主研發的12英寸原子層沉積(Atomic Layer Deposition,ALD)設備進駐上海集成電路研發中心。北方華創微電子為國產高端裝備在先進集成電路芯片生產線的應用再添新秀。

ALD設備是先進集成電路製造工藝中必不可少的薄膜沉積設備,ALD工藝具有工藝溫度低、薄膜厚度控製精確及台階覆蓋率高等優點。在集成電路特征線寬發展到28納米節點後,ALD工藝應用日益廣泛。北方華創微電子自2014年開始布局ALD設備的開發計劃,曆時四年,成功推出應用於集成電路領域的量產型單片ALD設備——Polaris A630,應用於沉積集成電路器件中的高介電常數和金屬柵極薄膜材料,設備的核心技術指標達到國際先進水平。

此次,北方華創微電子Polaris A630 ALD設備成功進駐上海集成電路研發中心有限公司,同時進駐產品還有北方華創微電子集成電路Al Pad工藝的eVictor A1030物理氣相沉積係統。至此,北方華創微電子已有矽刻蝕機、單片退火設備、Hardmask PVD、Al Pad PVD、單片清洗機、立式爐、ALD等集成電路設備應用於28-14納米工藝製程,擴展了國產高端裝備在集成電路先進製程的配套應用範圍。

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