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北方華創 Al Pad PVD榮獲首屆集成電路產業聯盟創新獎

首屆“集成電路產業鏈協同創新發展成果交流會暨2018年集成電路產業技術創新戰略聯盟大會”於3月1日在北京召開,會議由集成電路產業技術創新戰略聯盟組織,會議進行了集成電路產業發展戰略,以及集成電路產業鏈協同創新發展成果交流。北方華創“12英寸鋁濺射設備”榮獲“技術創新獎”。

12英寸鋁濺射設備(Al Pad PVD)設備是由北方華創自主開發的集成電路領域的高端PVD設備,適用於90至14納米技術節點的Bond Pad和Al Interconnect工藝。該設備突破了大產能傳輸平台、高溫靜電卡盤、先進磁控濺射源等一係列關鍵技術,解決了厚鋁粘片、晶須缺陷等世界性技術難題,填補了國內技術空白,技術指標達到國際先進水平。產品已經廣泛應用於邏輯、存儲和顯示等領域。

北方華創是國內唯一的集成電路高端PVD製造廠商,產品已經進入中芯國際、武漢新芯、上海華力等集成電路生產線,部分型號產品實現出口。

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