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北方華創兩項產品榮獲“第十二屆中國半導體創新產品和技術項目”獎

4月12日,在南京召開的“2018中國半導體市場年會暨第七屆集成電路產業創新大會”上,北方華創自主創新產品矽外延APCVD設備和US700流量計分別榮獲“第十二屆(2017年度)中國半導體創新產品和技術項目”獎。

矽外延APCVD設備應用於功率半導體和集成電路領域,兼容6吋和8吋矽外延片的生產,適用於厚度5-130um範圍的N型和P型外延工藝,具有成膜均勻性好、產能高、兼容性好、自動化程度高、占地麵積小等優點。

US700氣體質量流量控製器是最新研製的數字產品,具有控製精度高、低工作壓差等特性,適用於半導體離子注入工藝及其他相關集成電路製造工藝。

“中國半導體創新產品和技術項目”獎旨在鼓勵半導體產業界的科技創新活動,評選活動由中國半導體行業協會、中國電子材料行業協會、中國電子專用設備工業協會和中國電子報社共同組織。北方華創榮獲這項獎勵,充分展示企業的技術創新實力和專業領域作出的突出成就。

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