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北方華創第100台氮化鋁PVD設備順利交付

日前,北方華創第100台AlN PVD設備順利出貨,發運客戶生產線。

NAURA AlN PVD設備,是繼ELEDETM係列刻蝕機、EPEE係列PECVD設備之後,北方華創在LED領域第三個突破百台大關的單係列產品,它不僅是中國自主知識產權高端裝備打破國際大廠技術壟斷、實現與國際同行同時發布的創新見證,更彰顯了LED高端裝備製造的中國實力。如今,100台的出貨交付,是其市場認證最有效的名片,是其工藝性能更有競爭力的佐證,更預示著其未來市場更多的機會,更多的100台。

NAURA iTops A230係列AlN PVD是應用於GaN基LED製程的薄膜緩衝層沉積設備,其可提高緩衝層與GaN外延層的晶格匹配度,提高LED產品的輸出效率;拓寬MOCVD設備的工藝窗口,使產品的ESD測試通過率大幅提高;降低MOCVD的外延生長時間,提高產能,使整線的生產成本降低。自發布以來,NAURA AlN產品先聲奪人,憑借其優異的工藝性能、技術穩定性和極具競爭力的CoO,在LED市場收獲超高占有率和客戶認可度,成為產業當之無愧的明星產品。

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